电 话:18595888846
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地 址:河南省郑州市管城回族区南光之谷商业中心1幢10层1010号
核心区域:
光刻区:ISO 1-3级(Class 1~10),控制0.1μm微粒,温度波动≤±0.1℃。
蚀刻/薄膜沉积区:ISO 4级(Class 10),防化学气体腐蚀(AMC控制)。
特殊要求:
防静电(地板电阻10⁶~10⁹ Ω);
超纯水(电阻率≥18.2 MΩ·cm)和特种气体(如高纯氮)供应系统。
洁净等级:
晶圆切割/焊线区:ISO 5级(Class 100);
塑封/测试区:ISO 6级(Class 1,000)。
关键控制:
湿度≤40% RH(防止引线氧化);
微振动隔离(振幅≤1μm)。
分区要求:
玻璃基板清洗:ISO 4级(Class 10),超纯水冲洗;
蒸镀/封装区:ISO 5级(Class 100),防金属颗粒污染。
环境参数:
温度23±0.5℃,湿度50±5% RH(防止面板翘曲)。