阜新电子行业净化工程
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阜新按生产环节分类

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  • 所属分类:阜新电子行业净化工程
  • 浏览次数:
  • 发布日期:2025-06-28 10:11:58
  • 产品概述
  • 性能特点
  • 技术参数

1. 前道工艺(晶圆制造)

  • 典型车间

    • 扩散炉区:ISO 4级,控制颗粒及热均匀性;

    • CMP(化学机械抛光)区:ISO 5级,防划伤微粒。

  • 设施配置

    • 工艺冷却水(PCW)系统;

    • 废气洗涤塔(处理酸性气体)。

2. 后道工艺(封装测试)

  • 洁净设计

    • 贴片机区域:ISO 5级,防锡球氧化;

    • 老化测试区:ISO 7级(Class 10,000),高温监控。


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