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如何防止VOC(挥发性有机物)污染洁净室?

2025-07-07 14:19:03

一、源头控制措施

  1. 材料准入管理

    • 墙面:无溶剂环氧树脂涂层(VOC释放量≤50μg/m³)

    • 密封胶:通过ISO 16000-9认证

    • 建筑材料选用低挥发产品(如:

    • 设备进场前进行72小时VOC脱气测试

  2. 工艺优化

    • 溶剂型工艺改为水性体系(如UV固化替代传统喷涂)

    • 设置独立化学操作间(维持相对负压-5Pa)


二、通风净化技术

  1. 空气处理流程

    下载

    新风

    活性炭预过滤

    化学过滤器

    HEPA过滤

    洁净室

    • 浸渍活性炭(碘值≥900mg/g)

    • 氧化铝催化剂层(VOC去除率≥90%)

    • 化学过滤器配置:

  2. 参数控制

    • 换气次数:15-20次/h(化学实验室区)

    • 气流组织:下排风设计(排风口距地300mm)


三、监测与预警系统

监测项目技术方案响应措施
TVOC浓度PID检测仪(量程0-10ppm)≥1ppm时启动应急新风
特征污染物GC-MS在线监测(苯系物等)超标点位封闭排查
过滤器饱和状态压差传感器(阈值200Pa)自动提示更换

四、人员操作规范

  1. 物品准入制度

    • 禁止携带非必要物品(记号笔/粘合剂需用无醇型号)

    • 包装材料在缓冲间拆除(停留≥30分钟)

  2. 清洁程序

    • 使用超纯水+异丙醇(纯度99.9%)擦拭

    • 禁用含氯消毒剂


五、维护管理要点

  1. 化学过滤器更换

    • 依据累计运行时间(通常6000-8000小时)

    • 废弃滤材按危废处理

  2. 系统验证

    • 季度检测:ISO 16000-6方法采样

    • 年度验证:48小时密闭测试(TVOC≤500μg/m³)


六、特殊场景处理

  1. 突发泄漏应对

    • 立即启动事故排风(换气60次/h)

    • 吸附棉围堵+纳米氧化钛光催化处理

  2. 精密仪器防护

    • 关键设备区增设局部微环境(氮气幕帘)


实施案例:某液晶面板厂通过上述措施,将洁净室VOC浓度控制在:

  • 苯系物<20μg/m³

  • 总硫化物<5μg/m³
    (检测依据:GB/T 18883-2022《室内空气质量标准》)




                                                                                                                            ----------注:具体参数需结合洁净室等级及行业规范调整,建议定期开展FTIR(傅里叶红外)扫描定位潜在污染源。


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