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地 址：河南省郑州市管城回族区南光之谷商业中心1幢10层1010号
材料选择
主管道：采用316L不锈钢（EP级抛光，Ra≤0.8μm）
终端连接：使用Swagelok/VCR接头（氦质谱检漏率＜1×10⁻⁹ Pa·m³/s）
标识要求：管道外壁色环标识（氮气-黄色，氩气-灰色）
布局规范
独立敷设：与水电管道间距≥300mm，避免交叉接触
坡度设计：主管道保持0.5%-1%坡度，基础点设排空阀
| 部件 | 技术要求 | 示例参数 |
|---|---|---|
| 气体面板 | 二级减压（进口0.8MPa→出口0.2MPa） | 露点≤-70℃（氮气） |
| 过滤器 | 0.01μm PTFE滤芯（颗粒物≤1个/ft³） | 压差报警阈值0.05MPa |
| 吹扫系统 | 三阀组设计（使用/排空/吹扫位） | 吹扫流速≥10m/s |
泄漏防护
每20米设置气体探测器（灵敏度1ppm）
紧急切断阀与消防系统联动（响应时间＜3秒）
纯度保障
管道焊接采用自动轨道焊（内壁氧含量＜10ppm）
首次使用前进行氮气置换（纯度达99.999%后保压24h）
穿墙处理
套管密封（双层EPDM橡胶圈+防火泥封堵）
穿洁净区壁板处做圆弧角处理
终端分配
工作台气体出口配球阀+快接卡箍（1/4"～1/2"接口）
使用点压力显示精度±1% FS
测试标准
颗粒物检测：ISO 14644-1 Class 5级
氦检漏测试：保压0.6MPa/24h压降＜1%
周期维护
滤芯更换：压差达到初始值2倍时更换
管道钝化：每年5%硝酸循环处理
--------------注：具体实施需参照《电子工业洁净厂房设计规范》（GB 50472）及气体供应商技术手册。某半导体厂案例显示，采用上述设计可使氮气纯度维持在99.9995%以上。
