1. 新风引入与预处理

• 新风采集：外部空气经防虫网、初效过滤器（G4/F5级）预过滤，拦截大颗粒物（＞5μm）。

• 温湿度预处理：

• 夏季：表冷除湿 → 加热补偿（防过冷）

• 冬季：加热加湿 → 冷却平衡（防过热）

• 有害物拦截：配置化学过滤器（如活性炭层）吸附SO₂、NOₓ等大气污染物。

2. 循环风混合与过滤

• 回风回收：洁净室内部空气通过侧墙/地板回风口收集（回风率通常达70%~90%）。

• 混合调节：新风与回风在空调箱（AHU）内按设定比例混合（如新风占比10%~30%）。

• 二级过滤：混合风经中效过滤器（F7~F9级）去除≥1μm颗粒物（如皮屑、花粉）。

3. 温湿度深度调控

• 冷却/除湿：混合风通过冷水盘管降温至露点以下，凝结除湿。

• 加热/加湿：

• 电热或蒸汽再热控制送风温度（精度±1℃内）。

• 干蒸汽加湿器调节湿度（波动＜±5%RH）。

• 特殊需求处理：

• 低湿环境：增加转轮除湿机（可达-40℃露点）。

• 无菌环境：蒸汽加湿前需灭菌处理。

4. 末端高效净化

• 三级过滤：

• 高效送风：经HEPA过滤器（H13~H14级）对≥0.3μm颗粒过滤效率＞99.97%。

• 超高效送风：ULPA过滤器（U15~U17级）对≥0.12μm颗粒过滤效率＞99.999%。

• 净化装置布局：

• 集中送风：高效过滤器集成于空调箱末端。

• 分布式送风：FFU（风机过滤单元）安装在洁净室吊顶，实现局部层流。

5. 气流组织与循环

• 层流控制：

• 垂直层流：顶部FFU送风 → 高架地板回风（适用于ISO 5级以上区域）。

• 水平层流：侧墙送风 → 对侧回风（适用于隧道式洁净室）。

• 乱流控制：顶送侧回方式，通过换气次数稀释污染物（如ISO 7级区域换气≥60次/h）。

• 压差维持：调节送/回风量，使洁净室相对邻室保持正压（+5~20Pa），气流由洁向污单向流动。

6. 排风与能量回收

• 污染区排风：工艺设备废气、化学品存储间排风经独立管道导出。

• 能量再利用：

• 排风与新风通过转轮/板式热交换器进行热回收（效率40%~70%）。

• 部分洁净室采用二次回风系统减少冷热损失。

关键设计原则：

• 过滤渐进性：预过滤→中效→高效三级防护，延长末端过滤器寿命。

• 动态调节：传感器实时监测粒子数、压差、温湿度，自动调节风机频率/阀门开度。

• 分区分级：核心区（如光刻区）采用单向流，辅助区（更衣室）采用乱流设计。

行业应用差异：

• 电子厂：侧重温湿度稳定性（±0.5℃）及分子污染控制。

• 药厂：强调微生物截留及压差梯度防交叉污染。

• 生物实验室：需负压隔离及HEPA排风过滤。

该流程需定期验证性能（如粒子计数、检漏测试），确保符合ISO 14644-1等标准要求。