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多级过滤机制
采用初效→中效→高效（HEPA/ULPA）三级过滤，逐步拦截颗粒物（如粉尘、微生物）。
末端高效过滤器对≥0.3μm颗粒的过滤效率可达99.97%以上（如H14级HEPA）。
分子级污染物控制
配置化学过滤器（活性炭、浸渍滤芯）吸附酸性气体、VOCs等化学污染物。
定向气流设计
单向流（层流）：适用于高等级洁净区（如ISO 5级），采用顶部FFU送风+地板格栅回风，形成垂直/水平层流。
非单向流：通过合理布置送风口与回风口，减少涡流区。
压差梯度维持
洁净室对相邻区域保持正压（如+10~15Pa），防止外部污染侵入；特殊区域（如生物安全实验室）维持负压，控制内部污染物外泄。
温度稳定性
将温度波动控制在±0.5℃内（如半导体光刻区22±0.3℃），避免热膨胀影响设备精度。
湿度管理
防静电需求：维持40%~60%RH，减少静电积累（电子行业）。
抑菌需求：控制＜45%RH抑制微生物繁殖（制药行业）。
工艺需求：特定工序需低湿环境（如锂电干燥房＜1%RH）。
新风补充
按人员呼吸需求（≥30m³/h/人）和排风补偿量输入新风，保证空气品质。
循环风比例优化
高循环比（80%~90%）降低能耗，同时通过新风阀调节保证CO₂浓度＜1000ppm。
节能设计
变频风机按负荷调节风量。
热回收装置（转轮/板式换热器）回收排风能量。
安全保障
易燃环境采用防爆电机。
排风系统与废气处理联动（如酸性气体排风需耐腐蚀）。
智能调控
传感器网络（温湿度、压差、粒子计数器）实时反馈，自动调节阀门/风机。
备份设计
关键区域空调机组N+1冗余，故障时无缝切换。
应用场景差异：
电子洁净室：侧重温湿度稳定性和静电控制。
制药无菌车间：强调微生物拦截及压差梯度。
生物实验室：需负压隔离和高效过滤病原体。
系统设计需结合工艺需求、能耗及成本综合考量，并定期验证性能（如ISO 14644认证）。
