湿度管理
维持洁净室湿度在适当范围(通常40%-60%),减少静电荷积累。
电离中和系统
安装离子风机、离子风棒等设备,中和空气中及物体表面的静电荷。
防静电地板
铺设导电/耗散型地板,接地电阻值符合标准(如10⁴-10⁹ Ω),并通过接地带连接至公共接地点。
防静电工作区
工作台面使用导电材料(如不锈钢、防静电胶垫),并可靠接地。
货架、推车等金属设备需接地,避免电荷累积。
包装与容器
使用防静电周转箱、屏蔽袋(如金属化聚乙烯袋)存储敏感元器件。
设备接地
所有生产设备(贴片机、测试仪等)必须单点接地,接地电阻≤10 Ω。
穿戴规范
防静电服/鞋:穿戴连体式防静电洁净服、防静电鞋或脚跟带。
防静电腕带:接触敏感元件时,腕带需通过串阻(1MΩ)可靠接地。
操作纪律
避免快速摩擦或剥离动作(如撕胶带、快速脱衣)。
接触电路板前,先触摸接地金属释放电荷。
减少静电产生源
使用防静电版本的工具(如刷子、镊子)。
优先选用低起电性材料(如避免普通塑料、尼龙)。
物流控制
物料传输通过接地轨道或导电传送带。
高敏感区域设置静电消除门帘。
静电点位检测
定期测量工作台、设备、人员携带的静电压(目标<100V)。
接地系统检查
每月测试接地回路电阻,确保通路完整性。
防护用品维护
防静电服/腕带每日点检,失效品及时更换。
划分ESD保护区
核心区(如芯片封装区):严格限制非接地人员进入,增设局部离子风机。
缓冲过渡区:设置接地金属板、防静电门禁系统。
关键原则:
多级防护:环境控制(湿度/电离) + 人员装备 + 设备接地三重防护。
动态管理:结合生产流程调整防静电措施(如高精密工序增加离子化设备)。
成本平衡:根据静电敏感等级(如HBM/MM模型)分級投入防护资源。
通过系统化实施上述措施,可显著降低静电放电(ESD)导致的元器件损伤、工艺失效等风险。