1. 源头控制与工艺优化

• 密闭操作：在产生废气的工艺设备（如刻蚀、沉积设备）上加装密闭罩，减少气体外泄。

• 替代材料：优先选用低毒性或无害的工艺气体（如用氮气替代部分易燃气体）。

• 工艺调整：优化参数（如温度、流量）减少废气生成量。

2. 局部排风与收集

• 定点抽吸：在废气产生点设置负压抽风装置（如万向抽气臂、排气罩），直接捕获气体。

• 管道设计：采用耐腐蚀材料（如PTFE不锈钢）铺设密闭管道，防止泄漏或二次污染。

3. 废气处理技术

物理/化学吸附

• 活性炭吸附：适用有机溶剂、酸性气体（如异丙醇、氨气），定期更换炭床避免饱和。

• 化学洗涤塔：

• 酸性废气：用碱液（如NaOH）中和。

• 碱性废气：用酸液（如H₂SO₄）中和。

• 可溶性气体：用水吸收（如HF、HCl）。

热分解与燃烧

• 直接燃烧：针对易燃废气（如氢气、甲烷），高温分解为CO₂/H₂O。

• 催化燃烧：低温催化剂分解VOCs，降低能耗。

• 高温焚烧：处理剧毒气体（如硅烷、磷烷），需配备二次净化装置。

特殊技术

• 等离子体分解：利用高压电场分解难处理气体（如全氟化合物）。

• 生物过滤：微生物降解低浓度有机废气（适用实验室场景）。

4. 末端排放控制

• 高效过滤：经处理的废气需通过HEPA/ULPA过滤器，拦截残留颗粒物。

• 排放监测：安装气体传感器实时检测排放浓度（如TVOC、酸性气体），确保达标。

• 烟囱高度：根据排放物性质设计足够高度的排气筒，促进气体扩散。

5. 安全管理与维护

• 防回火装置：易燃废气管道加装阻火器、止回阀。

• 应急处理：设置自动切断阀、紧急排空系统应对泄漏。

• 定期维护：清洗洗涤塔、更换吸附剂、校准传感器，确保系统有效性。

• 人员防护：操作人员需佩戴防毒面具、护目镜，并接受应急培训。

6. 合规性与记录

• 法规遵循：符合地方环保标准（如EPA、ISO 14644）。

• 处理记录：保存废气检测数据、设备维护日志，确保可追溯性。

关键原则：根据废气成分（毒性、浓度、化学性质）选择组合技术，例如：

• 酸性废气：洗涤塔 + 活性炭吸附

• VOCs废气：催化燃烧 + 高效过滤

• 剧毒气体：高温焚烧 + 二级洗涤